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新設計模擬 - 快速恢復二極管打火問題的優化設計

2012年05月04日 16:13 本站整理 作者:秩名 用戶評論(0
4.3 新設計模擬

  由以上分析認為,圓片測試打火的主要原因在金屬場板和截止環金屬之間電勢較大,引起金屬間打火,下一步主要從考慮降低兩者之間的電勢,減小金屬場板處的表面電場出發,進行了以下模擬。

  4.3.1增加兩個環

  考慮在金屬場板前再增加兩個場限環,使得前面的分壓增加,以減少金屬之間的電勢差,模擬結果如下,FRD擊穿電壓沒有改變,仍舊在1500V,金屬場板和截止環之間的電勢從800V降到約500V,表面電場從2.6E5V/cm降低到1.7E5V/cm。

  圖10:FRD增加兩個環后結構

  

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  圖11 FRD增加兩個環后電勢分布圖

  

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  圖12 FRD增加兩個環后表面電場分布圖

  

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  4.3.2增加三個環

  從增加兩個環的結果看,增加環后電勢和電場都有改善,于是考慮增加三個環,模擬結果如下,FRD擊穿電壓沒有改變,仍舊在1500V, 金屬場板和截止環之間的電勢降為約400V,表面電場由2.6E5V/cm降低到1.2E5V/cm。

  圖13 增加3個環后結構

  

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  圖14 增加三個環后電勢分布圖

  

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  圖15 增加三個環后表面電場分布圖

  

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  4 結論分析

  從以上模擬結果可以看到,通過優化終端結構,可以有效減少金屬之間電勢差,改善表面電場分布,從而改善圓片測試打火現象。同時,工藝上可考慮在增加環的同時增加金屬后鈍化層,以更好的改善產品性能。

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