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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>容性耦合射頻(CCRF)放電等離子體特性實驗研究

容性耦合射頻(CCRF)放電等離子體特性實驗研究

2009-06-23 | rar | 120 | 次下載 | 3積分

資料介紹

利用自行研制的傳感器和測量裝置,通過對射頻放電電壓電流以及其相位角的測定,算出放電管的總阻抗,結合放電管的等效電路,對容性耦合射頻(CCRF) 激勵激光器放電特性進行研究,得出容性耦合射頻激勵激光器等離子體的伏安特性的曲線,以及等離子體電阻、容抗與氣體壓強、放電電流之間的實驗曲線,在Godyak 射頻放電模型的基礎上得出等離子體的電子密度,并同內置銅電極射頻激勵銅離子激光器阻抗特性進行了比較。
關鍵詞 容性耦合射頻放電 等效電路模型 放電特性
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