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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>快速熱處理設備

快速熱處理設備

2009-12-21 | rar | 221 | 次下載 | 3積分

資料介紹

“RHT系列半導體快速熱處理設備”是微電子所研制開發的具有自主知識產權的產品。該設備已獲1項美國專利、4項中國專利、1項日本專利,1990、1991年先后獲得國家發明二等獎和中國專利金獎,目前廣泛應用于國內大規模集成電路、Ⅲ-V族化合物半導體、微機械的研制與生產中,1997年還獲得德國CE認證,取得了進入歐共體市場的準入證。幾年來,已生產銷售三十多臺,為國家節省外匯一千多萬美元,不僅滿足了國內科研院所、大專院校、生產廠家的需求,而且還出口美國等地,取得了明顯的社會效益和一定的經濟效益。
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