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潔凈室的溫濕度控制設(shè)計(jì) The design of temperature and humidity control in clean rooms
1 溫濕度控制的特性以及常見(jiàn)問(wèn)題
1.1 溫濕度控制的特性
對(duì)濕空氣單純地加熱或制冷過(guò)程，是含濕量保持不變的過(guò)程，即絕對(duì)濕度保持不變的過(guò)程。濕空氣經(jīng)過(guò)盤(pán)管加熱，溫度升高而相對(duì)濕度下降;相反，對(duì)冷卻過(guò)程，溫度下降而相對(duì)濕度相應(yīng)升高，因此我們可以得出，溫度和相對(duì)濕度是兩個(gè)不同方向的控制量，要使溫濕度同時(shí)向相同的趨勢(shì)變化，則單純靠加熱/冷卻過(guò)程是不能實(shí)現(xiàn)的。冷卻去濕過(guò)程是濕空氣經(jīng)冷卻達(dá)到飽和后繼續(xù)制冷的過(guò)程，濕空氣經(jīng)過(guò)冷卻盤(pán)管析出水滴從而降低了絕對(duì)濕度，起到降濕的作用。因而我們可以將空氣處理過(guò)程分為加熱、加熱加濕、制冷、制冷再熱和制冷加濕等5個(gè)部分，如圖1所示。圖1中，橫坐標(biāo)為含濕量，即每千克干空氣所含有的水蒸汽量;縱坐標(biāo)為溫度。由目標(biāo)狀態(tài)絕對(duì)濕度線(xiàn)、目標(biāo)溫度和目標(biāo)濕度線(xiàn)以及機(jī)器露點(diǎn)的危險(xiǎn)警戒濕度
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