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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>閃光法測量高導熱碳化硅圓晶中存在的問題

閃光法測量高導熱碳化硅圓晶中存在的問題

2023-02-20 | pdf | 0.67 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

摘要:對于高導熱碳化硅(4H-SiC、6H-SiC)圓晶的導熱系數測試,目前普遍都采用閃光法,但都存在測試結果偏低的現象。本文基于這種高導熱碳化硅特性和閃光法,解釋了這種測試誤差較大的原因,并通過相關文獻報道的測試數據展示了這種誤差存在是必然結果,因此不建議采用閃光法測試這種高導熱且透明的碳化硅圓晶。 
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