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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>工控技術(shù)>基于VC++6.0的電子束曝光控制系統(tǒng)

基于VC++6.0的電子束曝光控制系統(tǒng)

2010-07-14 | rar | 201 | 次下載 | 3積分

資料介紹

隨著納米科技的迅速發(fā)展,下一代光刻技術(shù)在微細(xì)加工領(lǐng)域發(fā)揮著日益重要的作用。作為復(fù)雜半導(dǎo)體加工主要手段之一的電子束曝光系統(tǒng),需要穩(wěn)定完善的控制軟件來(lái)保證其正常運(yùn)行。本文介紹了電子束曝光控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)原理,并著重介紹了其對(duì)電子束曝光的全過(guò)程進(jìn)行控制的強(qiáng)大功能。
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