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電子發燒友網>電子資料下載>機械電子>面向微機電系統組裝與封裝的微操作裝備關鍵技術研究

面向微機電系統組裝與封裝的微操作裝備關鍵技術研究

2010-11-12 | rar | 659 | 次下載 | 5積分

資料介紹

摘要:對微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems,MEMS)組裝與封裝工藝的特點進行了總結分析,給出了MEMS組裝與封裝設備的研究現狀。針對MEMS產業發展的特點,分析了面向MEMS組裝與封裝的微操作設備中的工藝參數優化數據庫、快速精密定位、模塊化作業工具、快速顯微視覺、柔性裝夾和自動化物流等關鍵技術。在此基礎上,詳細介紹了研制的MEMS傳感器陽極化鍵合設備和引線鍵合設備的組成結構、工作原理,并給出了組裝和封裝試驗結果。最后,指出了MEMS組裝與封裝技術及設備研制的發展趨勢。
關鍵詞:微機電系統;組裝;封裝;微操作
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