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紫外激光的波長短，能量聚集集中，分辨率高，特別是具有“冷加工”的特性，能直接破壞連接物質的化學鍵，而不產生對外圍的加熱，因此成為加工脆弱物質的理想工具，并能對多種材料進行打孔、切割、燒蝕，在微加工領域中具有廣泛的應用。簡要介紹了幾種紫外激光器的原理特點及其發展現狀，并討論了它在激光加工中的應用。
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