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擴散硅系列固態傳感器是采用MEMS技術制作的一種新型傳感器，內部管芯真正實現了力敏電阻和硅單晶彈性體一體化的結構。具有靈敏度高、線性好、無滯后、反應快等優點。在設計中采用梁-膜或膜-島的先進結構，使芯片本身具有應力集中、非線性內補償等特點。并且在芯片的邊框上制作零點溫漂的電阻補償網絡，使芯片具有最小的零點溫漂系數。主要品種有高靈敏度的微壓傳感器、硅基SOI結構高溫低漂移壓力傳感器、微型硅加速傳感器和微量程肌張力傳感器等。其中靈敏度最高的品種其量程只有0.5kpa(5cm水柱)，而且正面可承受一百倍量程以上的過壓而不破壞，為目前國內最高水平。多年來，上述各類傳感器為許多工廠、醫療、科研單位廣泛使用，受到好評。
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